? ? ?苏州纳米技术与纳米仿生研究所微纳加工技术创新团队? ? ? ? ? 团队负责人：曾中明? ? 研究员

聚焦微纳加工技术，建成并运营了国内规模最大的、开放程度最高、工艺能力领先、最具特色的纳米技术公共服务平台，是苏州纳米所在半导体微纳加工领域的靓丽名片。

在技术创新方面，团队承担了一批以国家重点研发计划为代表的重大项目，率先研制出基于相干布居数囚禁原理的低功耗芯片级原子钟物理系统，实现了在深海探测等重要领域的应用；突破磁存储材料和器件微纳加工新工艺，开发出高性能反铁磁存储器原型器件，相关成果发表在国际知名期刊Nature上。此外，还开发多项特色微纳加工技术，有力支撑了100余项国家重大科研任务攻关。

在开放服务方面，团队每年支撑数百家高校、科研院所和企业进行科学研究、技术开发，推动相关产业增加产值数十亿元。自2011年起，连续13年承办苏州工业园区高技能人才职业技能竞赛，培养半导体高端技能人才数百名，荣获中国科学院首届职工技能大赛优秀组织奖，为新一代信息科技发展输送了大量高技能人才。

秉持“以匠心铸就卓越，以创新驱动未来，以开放服务国家，以科技支撑发展”的理念，团队成员累计荣获“全国五一劳动奖章”“中国科学院关键技术人才”“江苏省绝技绝活”等各级荣誉称号50余人次。